Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ЦЭМИ РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Тезисы Всероссийской научно технической конференции Микро и наноэлектроника-2001 Звенигород
сборник
Год издания:
2001
Том:
2
Сборник тезисов
Добавил в систему:
Васильева Анна Николаевна
Статьи, опубликованные в сборнике
2001
Геликонный источник плазмы
Васильева А.Н.
,
Ковалев А.С.
в сборнике
Тезисы Всероссийской научно технической конференции Микро и наноэлектроника-2001 Звенигород
, том 2, тезисы, с. 48-49