Материалы XXII конференции "Взаимодействие плазмы с поверхностью". Москва, НИЯУ МИФИ, 23-24 января 2019 гсборник
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
2019
Изменение морфологиии и светопропускания кварцевых окон в чистящем ВЧ разряде в смеси D2/N2
-
Городецкий А.Е.,
Буховец В.Л.,
Маркин А.В.,
Золотаревский В.И.,
Залавутдинов Р.Х.,
Захаров А.П.,
Войтицкий В.Л.,
Дмитриев А.М.,
Раздобарин А.Г.,
Мухин Е.Е.
-
в сборнике Материалы XXII конференции "Взаимодействие плазмы с поверхностью". Москва, НИЯУ МИФИ, 23-24 января 2019 г, место издания Типография НИЯУ МИФИ Москва, тезисы, с. 43-46
-
-
2019
Изменение морфологиии и светопропускания кварцевых окон в чистящем ВЧ разряде в смеси D2/N2
-
Городецкий А.Е.,
Буховец В.Л.,
Маркин А.В.,
Золотаревский В.И.,
Залавутдинов Р.Х.,
Захаров А.П.,
Войтицкий В.Л.,
Дмитриев А.М.,
Раздобарин А.Г.,
Мухин Е.Е.
-
в сборнике Материалы XXII конференции "Взаимодействие плазмы с поверхностью". Москва, НИЯУ МИФИ, 23-24 января 2019 г, место издания Типография НИЯУ МИФИ Москва, тезисы, с. 43-46
-
-
2019
Плазменная чистка диагностических зеркал с системой водяного охлаждения, выполненной на основе четвертьволнового фильтра
-
Дмитриев А.М.,
Бабинов Н.А.,
Баженов А.Н.,
Букреев И.М.,
Варшавчик Л.А.,
Елец Д.И.,
Жильцов Н.С.,
Затылкин П.А.,
Коваль А.Н.,
Курскиев Г.С.,
Масюкевич С.В.,
Мухин Е.Е.,
Раздобарин А.Г.,
Сениченков В.А.,
Самсонов Д.С.,
Соловей В.А.,
Толстяков С.Ю.,
Терещенко И.Б.,
Городецкий А.Е.,
Буховец В.Л.,
Маркин А.В.,
Залавутдинов Р.З.,
Чернаков А.П.,
Чернаков П.В.,
Шигин П.А.
-
в сборнике Материалы XXII конференции "Взаимодействие плазмы с поверхностью". Москва, НИЯУ МИФИ, 23-24 января 2019 г, место издания Типография НИЯУ МИФИ Москва, тезисы, с. 51-54
-
-
2019
Плазменная чистка диагностических зеркал с системой водяного охлаждения, выполненной на основе четвертьволнового фильтра
-
Дмитриев А.М.,
Бабинов Н.А.,
Баженов А.Н.,
Букреев И.М.,
Варшавчик Л.А.,
Елец Д.И.,
Жильцов Н.С.,
Затылкин П.А.,
Коваль А.Н.,
Курскиев Г.С.,
Масюкевич С.В.,
Мухин Е.Е.,
Раздобарин А.Г.,
Сениченков В.А.,
Самсонов Д.С.,
Соловей В.А.,
Толстяков С.Ю.,
Терещенко И.Б.,
Городецкий А.Е.,
Буховец В.Л.,
Маркин А.В.,
Залавутдинов Р.Х.,
Чернаков Ал П.,
Чернаков П.В.,
Шигин П.А.
-
в сборнике Материалы XXII конференции "Взаимодействие плазмы с поверхностью". Москва, НИЯУ МИФИ, 23-24 января 2019 г, место издания Типография НИЯУ МИФИ Москва, тезисы, с. 51-54