Proc. SPIE 11613сборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• 
  • 2021 Advanced ILT solutions to manufacture photonics designs
  • Zeggaoui Nassima, Tritchkov Alexander, Sergey Kobelkov
  • в сборнике Proc. SPIE 11613, серия Optical Microlithography XXXIV, том 11613, тезисы, с. 1-7 DOI