|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2016сборник
- Год издания: 2016
- Серия: Proceedings of SPIE
- Том: 10224
- Место издания: SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING [Djuzhev, N. A.; Gusev, E. E.; Dedkova, A. A.; Patiukov, N.] Natl Res Univ Elect Technol, Shokina Sq 1, Moscow 124498, Zelenograd, Russia
- Добавил в систему: Дедкова Анна Александровна
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 2016 Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope
- Djuzhev N.A., Gusev E.E., Dedkova A.A., Patiukov N.
- в сборнике INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2016, серия Proceedings of SPIE, место издания SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING [Djuzhev, N. A.; Gusev, E. E.; Dedkova, A. A.; Patiukov, N.] Natl Res Univ Elect Technol, Shokina Sq 1, Moscow 124498, Zelenograd, Russia, том 10224 DOI