Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ЦЭМИ РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Тезисы доклада на Международном оптическом конгрессе “Оптика – XXI век”. Санкт-Петербург, 2010
сборник
Год издания:
2010
Место издания:
Санкт-Петербург
Сборник тезисов
Добавил в систему:
Боголюбов Александр Николаевич
Статьи, опубликованные в сборнике
2010
Оптимизация масок в фотолитографии с двухстадийным экспонированием
Белокопытов Г.В.
,
Боголюбов А.Н.
,
Поройкова А.А.
в сборнике
Тезисы доклада на Международном оптическом конгрессе “Оптика – XXI век”. Санкт-Петербург, 2010
, место издания
Санкт-Петербург
, тезисы, с. 300-302