Тезисы докладов XXIV Российской конференции по электронной микроскопии (29 мая-1 июня 2012 г.), г. Черноголовка, Московской обл., Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН)сборник

Статьи, опубликованные в сборнике