Advances in X-Ray/EUV Optics and Components VIсборник
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
2011
The influence of working gas pressure on interlayer mixing in magnetron-deposited Mo/Si multilayers
-
Pershyn Y.P.,
Gullikson E.M.,
Artyukov I.A.,
Kondratenko V.V.,
Sevryukova V.A.,
Voronov D.L.,
Zubarev E.N.,
Vinogradov A.V.
-
в сборнике Advances in X-Ray/EUV Optics and Components VI, серия SPIE Proceedings, место издания SPIE, том 8139, с. 81390N
DOI