2-й Международный форум «Техноюнити – Электронно-лучевые технологии для микроэлектроники», г.Зеленоград, Россия, 9-12 октября 2017. Тезисы докладов,184ссборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• • 2017 Силовая нанолитография на поверхности металлов
  • Каминская Т.П., Попов В.В.
  • в сборнике 2-й Международный форум «Техноюнити – Электронно-лучевые технологии для микроэлектроники», г.Зеленоград, Россия, 9-12 октября 2017. Тезисы докладов,184с, место издания Богородский печатник г.Черноголовка, тезисы, с. 140-140
• 
  • 2017 Структура и трещиностойкость сплава на основе ниобия с упрочнением силицидами ниобия
  • Строганова Т.С., Карпов М.И., Кийко В.М., Прохоров Д.В., Некрасов А.Н.
  • в сборнике 2-й Международный форум «Техноюнити – Электронно-лучевые технологии для микроэлектроники», г.Зеленоград, Россия, 9-12 октября 2017. Тезисы докладов,184с, место издания Богородский печатник г.Черноголовка, тезисы, с. 115-115