Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ЦЭМИ РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
The charging of PMMA-film resist in electron beam lithography
доклад на конференции
Авторы:
Evstafieva E.N.
,
Knjazev M.A.
, Zaitsev S.I.,
Svintsov A.A.
,
Tatarintsev A.A.
,
Rau E.I.
Международная Конференция :
International Conference “Micro- and Nanoelectronics -2012”, ICMNE-2012
Даты проведения конференции:
2012
Дата доклада:
12 ноября 2012
Тип доклада:
Устный
Докладчик:
Rau E.I.
не указан
Evstafieva E.N.
Knjazev M.A.
Zaitsev S.I.
Svintsov A.A.
Tatarintsev A.A.
Rau E.I.
Место проведения:
Москва, Эвенигород, Russia
Добавил в систему:
Рау Эдуард Иванович