|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
ИОННО-ПУЧКОВЫЕ МЕТОДИКИ РАЗВИТЫЕ В НИИЯФ МГУдоклад на конференции
- Авторы: Шемухин А.А., Назаров А.В., Балакшин Ю.В., Черныш В.С.
- Всероссийская Конференция : VIII Всероссийская школа-семинар для студентов, аспирантов и молодых ученых (в возрасте до 35 лет включительно) по направлению «Диагностика наноматериалов и наноструктур» НАНОДИАГНОСТИКА-2015.
- Даты проведения конференции: 14-18 сентября 2015
- Дата доклада: 16 сентября 2015
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Russia
-
Аннотация доклада:
Исследовательский комплекс HVEE-500 лаборатории ионно-пучковых нанотехнологий НИИЯФ МГУ позволяет применять широкий спектр ионно-пучковых методик для создания, модификации и исследования покрытий для задач микро- и наноэлектроники, задач материаловедения и других исследовательских задач. Особую актуальность и ценность для решения материаловедческих задач представляет возможность проведение исследований в режиме in-situ, а так же применение методики СРИСЭ для исследования ультратонких и многослойных покрытий. Использование СРИСЭ открывает новые возможности в создании принципиально новых тонкопленочных материалов с уникальными свойствами.
- Добавил в систему: Шемухин Андрей Александрович