ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Исследовательский комплекс HVEE-500 лаборатории ионно-пучковых нанотехнологий НИИЯФ МГУ позволяет применять широкий спектр ионно-пучковых методик для создания, модификации и исследования покрытий для задач микро- и наноэлектроники, задач материаловедения и других исследовательских задач. Особую актуальность и ценность для решения материаловедческих задач представляет возможность проведение исследований в режиме in-situ, а так же применение методики СРИСЭ для исследования ультратонких и многослойных покрытий. Использование СРИСЭ открывает новые возможности в создании принципиально новых тонкопленочных материалов с уникальными свойствами.