|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Физические параметры плазмы поперечного ВЧ разрядадоклад на конференции
- Авторы: Кузовников А.А., Якунин В.Г., Савинов В.П., Маляров А.В.
- Региональная Конференция (Семинар (workshop)) : Контроль плазменных технолог. проц. в электронике и микроэлектроэлектронике
- Даты проведения конференции: 18 февраля 1986
- Дата доклада: 18 февраля 1986
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Минск, Russia
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович