|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Changing of oxygen plasma parameters in RF discharge over photoresist surfaseдоклад на конференции
- Авторы: Malyarov A.V., Gordeev A.I., Yakunin V.G., Savinov V.P., Riaby V.A.
- Локальная Конференция : IX Europ. Sect. Conf. Atom. Molecul. Phys. Ionised Gases
- Даты проведения конференции: 20-22 июля 1988
- Дата доклада: 20 июля 1988
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Lisbon, Portugal
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович