|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Влияние ионной бомбардировки на состав и свойства слоя, образующегося на поверхности кремния во фторуглеродной плазмедоклад на конференции
- Авторы: Амиров И.И., Алов Н.В., Шумилов А.С., Куприянов А.Н.
- Международная Конференция : VII Международная конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе КРЕМНИЙ-2010
- Даты проведения конференции: 2010
- Дата доклада: 8 июля 2010
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Алов Н.В.
- Место проведения: Нижний Новгород
- Добавил в систему: Алов Николай Викторович