1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emissionдоклад на конференции
-
Авторы:
Rakhimov A.T.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.,
Vasil'eva A.N.,
Proshina O.V.,
Braginsky O.V.,
Kurchikov K.,
Kovalev A.S.
-
Международная Конференция :
PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium)
-
Даты проведения конференции:
14-15 марта 2013
-
Дата доклада:
15 марта 2013
-
Тип доклада:
Устный
-
Докладчик:
не указан
-
Место проведения:
Лёвен, Belgium
-
Добавил в систему:
Прошина Ольга Вячеславовна