|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Молекулярно-динамическое моделирование напыления тонких пленок, состоящих из слоев с чередующейся плотностьюдоклад на конференции
- Авторы: Тихнравов А.В., Сулимов В.Б., Григорьев Ф.В.
- Всероссийская с международным участием Конференция : I Конференция с международным участием "Физическая химия в России и за рубежом: от квантовой химии до эксперимента"
- Даты проведения конференции: 16-20 июня 2019
- Дата доклада: 17 июня 2019
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Григорьев Ф.В.
- Место проведения: Черноголовка, Russia
-
Аннотация доклада:
Проведено классическое молекулярно-динамическое моделирование напыления тонкой пленки, состоящей из чередующихся плотных и пористых слоев. Рассчитаны структурные параметры пленки. При моделировании отжига напыленной пленки найдено, что концентрация основных точечных дефектов заметно уменьшается во всех слоях пленки. На основе корреляций между плотностью и показателем преломления получено, что величина показателя преломления варьируется от 1.3 до 1.49, достигая минимального значения в слоях с максимальной пористостью. Такие слои могут быть использованы при конструировании многослойных оптических покрытий, обеспечивающих пропускание и отражение света в заданных диапазонах длин волн.
- Доклад на конференции выполнен в рамках проекта (проектов):
- Добавил в систему: Григорьев Федор Васильевич