|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Синтез, структура и свойства тонких плёнок диоксида ванадия VO2 на монокристаллических подложках ZrO2 (Y2О3) различной ориентациидоклад на конференции
- Авторы: Бурлакова М., Акбар Ф., Шароваров Д.
- Всероссийская с международным участием Конференция : XVIII Конференция молодых ученых "Актуальные проблемы неорганической химии. К 150-летию Периодического закона Д.И. Менделеева"
- Даты проведения конференции: 22-24 ноября 2019
- Дата доклада: 3 ноября 2019
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Бурлакова М.
- Место проведения: Звенигород, Russia
-
Аннотация доклада:
В данной работе серия тонких плёнок VO2 получена методом MOCVD по реакции пирогидролиза при взаимодействии паров VO(thd)2 c влажным аргоном. В качестве подложек использовали YSZ - монокристаллический стабилизированный ZrO2 (Y2О3) с различной ориентацией поверхности роста (100, 110, 111 и неориентированная). Была изучена возможность получения различных кристаллических модификаций оксида ванадия (IV) в зависимости от ориентации подложки, а также возможность перехода метастабильных модификаций в более устойчивую моноклинную фазу VO2 (М1) при последующем отжиге плёнок. Методом сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) была исследована морфология каждого образца до и после отжига, а также зависимость сопротивления была изучена с помощью четырёх-контактного метода измерения сопротивления.
- Добавил в систему: Бурлакова Мария Александровна