![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Исследовано влияние D2-N2 плазмы на отражательную способность монокристаллических зеркал Мо (111). Поверхность каждого зеркала готовилась механической полировкой алмазными пастами до шероховатости hq = 5 нм. Экспозиция до флюенса ионов 14×1023 м-2 приводила к увеличению hq до 9 нм. Коэффициент полного отражения в области 400×1000 нм также увеличивался на 5-10%, что может быть вызвано преимущественным удалением углерода в процессе ионного распыления.