![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
В данной работе методом электромиграции получены нанозазоры величиной 2-5 нм в металлическом нанопроводе, висящем над кремниевой подложкой на высоте около 50 нм. При этом экспериментально подтверждено, что отвод тепла, выделяющегося при электромиграции, через подложку оказывается несущественным для хода электромиграции.