ИСТИНА

Среди большого разнообразия тонкопленочных функциональных оксидных материалов особое место занимают пленки и покрытия Al2O3 и сложные оксиды на его основе. В настоящее время развиваются новые подходы к получению высококачественных тонкопленочных материалов на основе оксида алюминия из растворов металл-органических прекурсоров (МОП). Оригинальность нашей работы состоит в сочетании методов золь-гель и разнолигандного комплексообразования для синтеза новых МОП, когда можно модифицировать характеристики раствора МОП и, как следствие, оксидного покрытия. В качестве исходных соединений алюминия были опробованы алкоголяты, карбоксилаты и бета-дикетонаты, для модифицирования которых использовали аминолиганды: моноэтаноламин (МЕА) и диэтилентриамин (DETA), известные как гидролизующие агенты и хелатирующие/мостиковые лиганды. Растворы и гели МОП охарактеризованы данными ПМР, ИК спектроскопии, термического анализа, МАЛДИ-МС. Показано, что новые МОП представляют собой разнолигандные гидроксокомплексы (РЛК). Доминирование гидролизующей или комплексообразующей функции аминолигандов в РЛК зависит от природы исходного соединения алюминия. Новые МОП были протестированы в сериях экспериментов по осаждению сглаживающих слоев Al2O3, MgAl2O4, LaAlO3 на длинномерные ленты из Ni-содержащего сплава. Продемонстрирована их высокая сглаживающая способность: средняя и средне-квадратичная шероховатость поверхности подложки была снижена с 4.6±0.8 до 0.5±0.1 нм на площади 5х5 мкм2.