|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Формирование и исследование ультратонких слоев кремния на сапфировой подложке с помощью ионной имплантациидоклад на конференции
- Авторы: Балакшин Ю.В., Черныш В.С., Патракеев А.С., Шемухин А.А.
- Международная Конференция : XLII международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
- Даты проведения конференции: 29-31 мая 2012
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Шемухин А.А.
- Место проведения: Москва, Russia
- Добавил в систему: Балакшин Юрий Викторович