Experimental and ab initio study of nitrogen atoms interaction with SiOCH low-k filmsдоклад на конференции
-
Авторы:
Mankelevich Yu A.,
Voronina E.N.,
Rakhimova T.V.,
Baklanov M.R.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Zotovich A.I.,
Palov A.P.
-
Международная Конференция :
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016)
-
Даты проведения конференции:
23-26 августа 2016
-
Дата доклада:
25 августа 2016
-
Тип доклада:
Стендовый
-
Докладчик:
Voronina E.N.
-
Место проведения:
Москва, Russia
-
Добавил в систему:
Воронина Екатерина Николаевна