ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
С целью изучения влияния кривизны поверхности на механизмы распыления в данной работе выполнено моделирование методом молекулярной динамики воздействия ионов Ar и Xe низкой энергии на кремниевые наносферы с радиусом до 6 нм. Показано влияние массы иона на особенности процесса его взаимодействия с мишенями, обладающими различной кривизной, и дано объяснение возрастания коэффициента распыления при уменьшении радиуса сферы.