![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Работа посвящена проблеме создания новых микро- и наноструктурированных функциональных материалов. К настоящему времени были разработаны методы получения пористых полимерных микро-структур, на основе которых создавались темплейтные металлические структуры. В данной работе регулярные мембраны получались с использованием облучения полимерной пленки на синхротронной станции «Глубокая рентгеновская литография», установленной на канале источника СИ ВЭПП-3, через маску и последующего химического травления зон деструкции. Создавались пленки с регулярными зонами облучения, направленными перпендикулярно поверхности через маску в виде титановой мембраны толщиной 2 мкм. Расстояние между центрами периодически расположенных отверстий в маске составляло 2,9 мкм, а диаметр самих отверстий – 1 мкм.