|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Исследование эффекта образования структурных повреждений в КМОП-матрице при низкоинтенсивном облучении протонами различных энергийдоклад на конференции
- Авторы: Лукашин В.П., Яненко А.В., Пряничников А.А., Уланова А.В., Никифоров А.Ю.
- Всероссийская Конференция : Международный форум «Микроэлектроника-2021» 7-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули»
- Даты проведения конференции: 3-9 октября 2021
- Дата доклада: 4 октября 2021
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Алушта, Крым, Russia
-
Аннотация доклада:
В работе представлен обзор экспериментальных данных, отражающих суть эффекта формирования структурных повреждений в КМОП-матрице при воздействии протонов низкой интенсивности (5Е+05 п/см2) с различными энергиями — 50, 100, 150 и 200 МэВ. Облучение образцов проводилось с помощью комплекса протонной терапии «Прометеус». Ключевые слова: структурные повреждения; «белые» дефекты; КМОПматрица; протоны; низкоинтенсивное облучение; оптоэлектронные устройства
- Добавил в систему: Пряничников Александр Александрович