![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Обусловленные квантовыми флуктуациями электромагнитного поля, дисперсионные силы играют важную роль в производстве и функционировании современных микро/наноэлектромеханических систем. Эффективным средством контроля и измерения дисперсионных сил является метод залипшего кантилевера. Однако на точность измерений этим методом существенное влияние оказывает шероховатость исследуемой поверхности, которая вносит неопределенность в оценку контактного зазора на участке залипания кантилевера. В докладе описывается теоретико-экспериментальный подход, позволяющий получить такую оценку, исходя из данных по измерению энергии адгезии.