ИСТИНА

Система In2 O3 -SnO 2 (ITO, Indium Tin Oxide) широко используются в качестве прозрачных электродов благодаря высокой электропроводности и прозрачности в видимом диапазоне излучения. Такие материалы активно применяются в электронике (жидкокристаллические экраны, LED (EightEmitting Diode) и OLED (Organic Light Emitting Diode) светодиоды, гибкие и сенсорные экраны), оптике (фотопреобразователи в полупроводниковых фотоприёмниках, электрохромные стёкла, светофильтры), энергетике (солнечные батареи), сенсорике (рецепторные слои в резистивных газовых сенсорах) и др. Одна из основных проблем при формировании покрытий ITO заключается в отсутствии доступных и эффективных методов их нанесения: чаще всего используются методы CVD (Chemical Vapor Deposition) и PVD (Physical Vapor Deposition), которые накладывают различные технические ограничения: сложности при адресном нанесении материала, высокая стоимость оборудования и значительные энергозатраты при нанесении покрытий. При этом одним из наиболее универсальных и удобных методов получения тонкоплёночных полупроводниковых покрытий является золь-гель технология [1–5]. Таким образом, целью данной работы было изучение процесса синтеза алкоксоацетилацетонатов индия и олова в качестве компонентов функциональных чернил, подходящих по своим свойствам для формирования тонких плёнок состава In2 O3 -10%SnO 2 при комбинации золь-гель технологии и струйной печати. Синтез алкоксоацетилацетоната индия осуществлялся путём термообработки раствора [In(C5 H7 O2 )3 ] в н-бутаноле, в результате чего происходило частичное деструктивное замещение хелатных лигандов на алкоксильные группы. Данный процесс контролировался с помощью УФ-спектрофотометрии (Рис. 1) – как видно из рисунка, с увеличением длительности термообработки раствора комплексов снижается интенсивность полосы поглощения, относящейся к координированным C5 H7 O2 -лигандам. Далее к полученному раствору гетеролигандного комплекса индия в необходимом количестве добавлялся раствор ацетилацетоната олова в н-бутаноле. Полученный таким образом раствор далее применялся в качестве функциональных чернил для струйной печати тонких плёнок состава In2 O3 -10%SnO2 , микроструктура которых далее была изучена с помощью сканирующей зондовой микроскопии.