|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ И ТОЛЩИНЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ ОСАЖДЕНИЕМ В ВАКУУМЕ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК НА КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ, МЕТОДОМ ЭЛЛИПСОМЕТРИИдоклад на конференции
- Авторы: Кондрашов П.Е., Чернов А.А.
- Всероссийская с международным участием Конференция : Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника»
- Даты проведения конференции: 3-9 октября 1994
- Дата доклада: 6 октября 1994
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Гурзуф, Russia
- Добавил в систему: Кондрашов Павел Евгеньевич