ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Минимизация и оптимизация устройств интегральной фотоники, в том числе и в рамках концепции «лаборатория на чипе» требует от исследователей умения создавать миниатюрные устройства для управления излучением, например, линзы. Однако, когда речь идет о характер- ных размерах устройства в несколько единиц или десятков микрон, управлять преломляющими свойства за счет формы поверхности невозможно. В этом случае удобно делать элементы с гра- диентом показателя преломления. В данной работе описана методика создания таких элементов методом двухфотонной лазерной литографии.