|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
ДВУХФОТОННАЯ ЛАЗЕРНАЯ ЛИТОГРАФИЯ С КОМПЕНСАЦИЕЙ ФОРМЫ ВОКСЕЛЯ ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРЁХМЕРНЫХ МИКРОСТРУКТУРдоклад на конференции
- Авторы: Шарипова М.И., Балуян Т.Г., Сверчков А.С., Бессонов В.О., Федянин А.А.
- Всероссийская с международным участием Конференция : Всероссийская научная конференция с международным участием “Енисейская фотоника — 2022”.
- Даты проведения конференции: 19-24 сентября 2022
- Дата доклада: 20 сентября 2022
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Красноярск, Russia
-
Аннотация доклада:
В работе предложен способ повышения качества печати трехмерных микроструктур методом двух- фотонной литографии за счет учета размера и формы вокселя. На примере изготовления модельных объек- тов показано, что предложенный способ позволяет уменьшить отклонение от заданной формы до 2%.
- Добавил в систему: Шарипова Маргарита Ильгизовна