ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Интерес к экспериментальному и теоретическому исследованию кинетических процессов в неравновесной азотной плазме электрических разрядов пониженного давления связан с их широким применением в плазмохимических технологиях. Несмотря на большое количество работ этого направления, параметры разряда и физико-химические процессы в нем еще остаются неизученными. Большое внимание уделяется определению напряженности электрического поля E и концентрации электронов ne. Особые трудности возникают при исследовании разрядов, создаваемых с помощью ВЧ и СВЧ полей. Большую проблему представляет измерение напряженности электрического поля E особенно в условиях, когда ее величина не превышает нескольких сотен В/см. В настоящей работе описан метод определения ne и E по спектрам второй положительной системы азота. Проведено тестирование методики и приведены первые результаты по определению параметров плазмы резонаторного СВЧ разряда (РСВЧР) и электродного СВЧ разряда (ЭСВЧР).