|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Сравнение характеристик изображения в проекционной фотолитографиидоклад на конференции
- Авторы: Белокопытов Г.В., Рыжикова Ю.В.
- Всероссийская Конференция (Семинар (workshop)) : Всероссийская школа-семинар "Физика и применение микроволн" - "Волны-2007"
- Даты проведения конференции: 2007
- Дата доклада: 22 мая 2007
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Рыжикова Ю.В.
- Место проведения: Звенигород
-
Аннотация доклада:
Методом численного моделирования произведено сравнение характеристик изображений, создаваемых различными фотошаблонами. Предложена методика оценки критических размеров элементов изображения. Изучены зависимости критических размеров от численной апертуры и параметра когерентности для круглого источника освещения и различных типов используемых масок. Получены зависимости оптического контраста от приведенных размеров изображения бинарных и фазовых масок.
- Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна