|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Определение толщины модифицированного слоя полимерных пленок, обработанных в разряде постоянного токадоклад на конференции
- Авторы: Пискарев М.С., Скрылева Е.А., Сенатулин Б.Р., Зиновьев А.В., Гильман А.Б., Кузнецов Александр Алексеевич
- Всероссийская с международным участием Конференция : Всероссийская (с международным участием) конференция «ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ» (ФНТП- 2023)
- Даты проведения конференции: 5-9 июня 2023
- Дата доклада: 8 июня 2023
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Пискарев М.С.
- Место проведения: Казань, Russia
-
Аннотация доклада:
Методом рентгенофотоэлектронной спектроскопии в сочетании с прецизионным травлением кластерным пучком Ar2500+ с энергией 10 кэВ проведены исследования толщины модифицированного в плазме слоя пленок полиэтилентерефталата (ПЭТФ) и поливинилтриметилсилана (ПВТМС). Пленки модифицированы в разряде постоянного тока пониженного давления в среде рабочего газа – фильтрованного атмосферного воздуха. Глубина кратеров травления измерялась профилографом поверхности щупа. Найденная экспериментально толщина модифицированного в плазме слоя для ПЭТФ составляла ≤ 20 нм, а для пленки ПВТМС ~ 50 нм.
- Добавил в систему: Пискарев Михаил Сергеевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Сборник тезисов | FNTP-2023.pdf | 8,9 МБ | 17 октября 2023 [piskarevms] |
| 2. | Полный текст | Программа | PROGRAMMA_FNTP-2023_v.1.0.8.pdf | 776,4 КБ | 17 октября 2023 [piskarevms] |