![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Задачи механики процессов получения бездислокационных монокристаллах кремния являются актуальными и технически значимыми в связи с интенсивным развитием микроэлектроники, которая предъявляет все более высокие требования по минимизации уровня микро- и нанодефектов в пластинах кремния, используемых для изготовления электронных микросхем. Решение этих задач связано с изучением закономерностей термомеханических процессов как на стадии выращивания монокристаллов кремния, так и на последующих термообработках вырезаемых из них пластин. Обсуждаются постановка и решение таких задач применительно к выращиванию бездислокационных монокристаллов кремния большого диаметра методом Чохральского и моделированию дефектообразования в них. Работа выполнена по теме госзадания ИПМех РАН (№ госрегистрации 1021032423943-6-2.3.2).
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Programma_Simpozium_2023-08-08.pdf | Programma_Simpozium_2023-08-08.pdf | 224,3 КБ | 29 августа 2023 [naverezub] | |
2. | Prostomolotov-oral16-9-Sezd-2023.pptx | Prostomolotov-oral16-9-Sezd-2023.pptx | 6,2 МБ | 29 августа 2023 [naverezub] |