|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Разработка исследовательского CVD оборудованиядоклад на конференции
- Авторы: Гончаров О.Ю., Балдаев Л.Х.
- Всероссийская с международным участием Конференция : 30-я Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием «Вакуумная техника и технологии – 2023»
- Даты проведения конференции: 20-22 июня 2023
- Дата доклада: 21 июня 2023
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Россия, Санкт-Петербург, Russia
-
Аннотация доклада:
Рассмотрено применение в России технологий CVD и потребности в разработке исследовательского CVD-оборудования.
- Добавил в систему: Гончаров Олег Юрьевич