Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ЦЭМИ РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Reactive mechanisms of F atoms interactions with SiCF3 surface groups
доклад на конференции
Авторы:
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
Международная Конференция :
23-я Международная конференция "Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП-2017)"
Даты проведения конференции:
21-25 августа 2017
Дата доклада:
24 августа 2017
Тип доклада:
Стендовый
Докладчик:
Voronina E.N.
не указан
Voronina E.N.
Rakhimova T.V.
Mankelevich Yu A.
Место проведения:
Москва, Russia
Доклад на конференции выполнен в рамках проекта (проектов):
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
Добавил в систему:
Воронина Екатерина Николаевна