|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Применение ионного травления для создания тонких слоев карбида кремниядоклад на конференции
- Авторы: Поляков М.В., Холодный Д.С.
- Международная Конференция : XХVII международная научно-техническая конференция студентов и аспирантов «РАДИОТЕХНИКА, ЭЛЕКТРОТЕХНИКА И ЭНЕРГЕТИКА»
- Даты проведения конференции: 11 марта 2021 - 12 мая 2025
- Дата доклада: 11 марта 2021
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: МЭИ, Россия
- Добавил в систему: Поляков Максим Викторович