|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Влияние предварительной обработки и органических добавок на профиль слоя электроосаждаемой меди в микроэлектроных структурах доклад на конференции
- Авторы: Тураев Д.Ю., Кругликов С.С., Валеев А.С., Гвоздев В.А.
- Международная Конференция (Выставка) : Покрытия и обработка поверхности. Последние достижения в технологиях, экологии и оборудовании: Тез. Докл. 11-й Междунар. Конф.
- Даты проведения конференции: 18-20 февраля 2014
- Дата доклада: 18 февраля 2014
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Москва СК "Олимпийский", Russia
- Добавил в систему: Кругликов Сергей Сергеевич