![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Проведена демонстрация процесса электронной литографии на примере структур из кремния на изоляторе. Показаны этапы формирования как самого нанопровода, размером менее 100 нм, так и методов изготовления макроскопических подводящих проводов в едином вакуумном цикле