|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Технологические процессы в наноэлектроникеучебный курс
- Автор: Сапков И.В.
- Год создания: 2017
- Организация: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Описание: Спецкурс знакомит студентов 4 курса с понятиями чистого помещение, методами отчистки рабочих материалов, основными принципами вакуумирования, а также с основными процессами классической тонкоплёночной технологии, включая магнетронное напыление и реактивно-ионное травление.
- Добавил в систему: Сапков Иван Владимирович