|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Физические проблемы применения плазмы в микротехнологииучебный курс
- Автор: Рахимов А.Т.
- Год создания: 2008
- Организация: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Добавил в систему: Рахимов Александр Турсунович
Преподавание курса
- 12 февраля 2008 - 31 мая 2023 Рахимов Александр Турсунович
- МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Отделение ядерной физики, Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
- обязательная, по выбору (спецкурс), лекции, 32 часов
- Автор: Рахимов А.Т.