Описание:В учебном курсе рассматриваются современные инструментальные методы исследования тонкопленочных материалов и гетероструктур - рентгенография тонких пленок (различные геометрии съемки), рентгеновская рефлектометрия, дифракция обратно рассеянных электронов, резерфордовское обратное рассеяние, рентгеновская фотоэлектронная и Оже-спектроскопия, спектроскопия энергетических потерь электронов. Рассматривается аппаратурное обеспечение методов, математический аппарат.