|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Методика приготовления и структурные свойства тонких пленок SiOx с различным значением параметра стехиометрии xдипломная работа (Бакалавр)
- Научный руководитель: Жигунов Д.М.
- Автор: Швыдун Н.В.
- Тип: Бакалавр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2009
- Аннотация: Дипломная работа посвящена отработке методики создания тонких пленок SiOx и многослойных структур SiOx/SiO2 и последующему анализу структурных свойств изготовленных пленок SiOx.
- Добавил в систему: Жигунов Денис Михайлович