Исследование оптических и структурных свойств нанокристаллов кремния в гетероструктурах SiOx/SiO2, SiOx/Si3N4 и SiNx/Si3N4дипломная работа (Специалист)
Аннотация:Дипломная работа посвящена определению морфологии нанокластеров кремния, полученных в процессе отжига многослойных структур SiOx/SiO2 методами спектроскопии комбинационного рассеяния света, фотолюминесцентной спектроскопии и просвечивающей электронной микроскопии, а также сравнительному исследованию структурных и фотолюминесцентных свойств гетероструктур SiOx/SiO2, SiOx/Si3N4 и SiNx/Si3N4.