|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Исследование влияния параметров излучения фтор-криптонового лазера на процессы плазмообразования, эпитаксии и легирования палладием пленок диоксида олова и кремниядипломная работа (Специалист)
- Научные руководители: Шатохин А.Н., Путилин Ф.Н.
- Автор: Сухов К.Е.
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 1998
- Аннотация: Установлена связь между плотностью энергии излучения Kr-F лазера и толщиной слоя палладия, осаждаемого на подложку за один импульс; Оптимальная по газочувствительности толщина слоя палладия на пленке диоксида олова может быть достигнута при плотности потока энергии 20Дж/см2 и уменьшенном количестве импульсов; Наибольшая газочувствительность получена на пленках диоксида олова предварительно легированных медью с последующим поверхностным легированием палладием слоем в 50А; На основании проведенных зондовых экспериментов показано, что плазма палладия имеет сложную пространственно-временную структуру с чередованием электронных и ионных слоев, дисперсией скоростей и несферическим законом разлета частиц в плазменном факеле.
- Добавил в систему: Шатохин Анатолий Николаевич