|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Использование непрерывного и дискретного вейвлет-преобразования для интерпретации кривых зеркального отражения рентгеновских лучей от многослойных пленок и периодических структурдипломная работа (Магистр)
- Научный руководитель: Прудников И.Р.
- Автор: Егоров Д.К.
- Тип: Магистр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2021
- Аннотация: Магистерская диссертация Егорова Д.К. посвящена использованию непрерывного и дискретного вейвлет-преобразований для интерпретации кривых зеркального отражения рентгеновских лучей от многослойных пленок и периодических структур с шероховатыми границами раздела между слоями. Исследование зеркального отражения рентгеновских лучей в таких структурах дает возможность получить информацию об их параметрах: толщинах отдельных слоев, плотности материалов, среднеквадратичной высоте межслойной шероховатости. Егоров Д.К. представил в магистерской диссертации несколько собственных новых результатов: 1) Метод дискретного вейвлет-анализа дает возможность представить экспериментальную кривую зеркального отражения рентгеновских лучей (рефлектометрическую кривую) в виде набора кривых, с разным масштабом осцилляций (периодом осцилляций). 2) Из набора кривых с разным масштабом осцилляций, полученных при помощи дискретного вейвлет-преобразования рефлектометрической кривой, можно выделить компоненты, описывающие интерференцию волн, отраженных от какого-либо одного слоя внутри многослойной структуры. Эти компоненты зависят от структурных параметров (толщина и высоты шероховатостей границ раздела) только этого слоя. 3) Исследование пиков автокорреляционной функции производной от электронной плотности внутри многослойных пленок при помощи непрерывного вейвлет-преобразования позволяет получить информацию о толщинах слоев и среднеквадратичных амплитудах межслойной шероховатости на границах раздела слоев многослойной структуры. 4) Значения структурных параметров многослойных пленок (толщины слоев, среднеквадратичные амплитуды межслойных шероховатостей), полученные в результате обработки экспериментальных кривых зеркального отражения при помощи непрерывного и дискретного вейвлет-преобразований, совпадают. 5) Выбор дискретных или непрерывных вейвлетов для эффективной обработки конкретной экспериментальной кривой зависит от вида кривой и от особенностей строения многослойных пленок.
- Добавил в систему: Прудников Илья Рудольфович