|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Разработка системы наноэлектродов молекулярного одноэлектронного транзисторадипломная работа (Бакалавр)
- Научный руководитель: Солдатов Е.С.
- Автор: Петрунин Дмитрий Андреевич
- Тип: Бакалавр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2023
- Аннотация: Предложена схема создания предельно малых зазоров между пленочными электродами на ступеньке на подложке для формирования высокотемпературных одноэлектронных транзисторов без использования эффекта электромиграции. Отработана технология изготовления элементов наноструктуры, а именно: Напыление слоёв диэлектриков методом магнетронного напыления; Напыление верхнего подводящего электрода путем использования электронной литографии и термического напыления материалов; Формирование на краю верхнего электрода ступеньки контролируемой высоты на подложке с одновременным созданием подтрава под верхним электродом методом жидкостного травления; Создание электродов снизу от ступеньки. Изготовлены тестовые образцы электродов с нанозазором по предложенной схеме без использования электромиграции.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич