|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Модель плазмы разряда в ацетиленедипломная работа (Бакалавр)
- Научный руководитель: Бычков Владимир Львович
- Автор: Нечаев Кирилл Александрович
- Тип: Бакалавр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова, физической электроники
- Год защиты: 2023
- Аннотация: В работе рассмотрены эксперименты по созданию пленок в ацетилене в тлеющем разряде, проводимые на кафедре. При этом в В работе создана модель плазмы тлеющего разряда для ионизации ацетилена при давлении 20 mTorr и токе 300 mA и значении параметра E/N=100 Td. На основе данных эксперимента и литературы о константах скорости плазмо-химических процессов разработана численная модель плазмы состоящая из 17 компонент: нейтралы и радикалы: С_2 H_2, С_2 H, С_4 H_2, С_4 H, С_6 H_2, С_8 H_2, С_2 H_3, С_4 H_3, H_2, H, С_6 H_3,С_6 H; заряженные частицы: электрон и положительные ионы: C_2 H^+, C_4 H_2^+, C_2 H_2^+, C_6 H_4^+. Проделаны расчеты параметров плазмы тлеющего разряда в ацетилене при давлении 20 mTorr на интервале времени 1 с, реализуемого в эксперименте. При этом температура электронов в разряде согласно нашим расчетам оказалась 5 эВ. В наших условиях получены основные радикалы С_4 H_3, С_6 H_(3 ) и С_2 H, они соответствуют радикалам из работы [Doyle] полученным в аналогичных условиях, но в ВЧ разряде при более высоких мощностях, чем в [Doyle]. В этом разряде при близких условиях происходило образование алмазоподобных пленок. Поэтому можно предполагать появление алмазоподобных пленок и в наших экспериментах.
- Добавил в систему: Бычков Владимир Львович