|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Математическое моделирование коррекции масок в оптической литографиидипломная работа (Специалист)
- Научный руководитель: Боголюбов А.Н.
- Автор: Поройкова А.А.
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2010
- Аннотация: Рассмотрена прямая и обратная задачи фотолитографии,заключающиеся в нахождении лучшей маски для олучения желаемого изображения на резисторе.
- Добавил в систему: Боголюбов Александр Николаевич