|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Лазерно-индуцированное осаждение молибдена из водных растворовдипломная работа (Магистр)
- Научный руководитель: Кочемировский В.А.
- Автор: Жиглей Э.С.
- Тип: Магистр
- Организация, в которой проходила защита: Санк-Петербргский государственный Политехнический университет Петра Великого
- Год защиты: 2014
- Аннотация: Лазерно-индуцированное осаждение металлов - один из перспективных методов металлизации различных подложек. Одним из типов данного метода является лазерно-индуцированное осаждение металлов из растворов (ЛОМР). Лазерно-индуцированное осаждение металла из раствора (LCLD) – это метод, основанный на протекающей в локальном объеме раствора в фокусе луча лазера химической реакции восстановления металла, приводящей к осаждению последнего на поверхности диэлектрической подложки. Метод лазерного осаждения металла из раствора электролита позволяет создавать качественные малоразмерные металлические структуры на поверхности диэлектриков и полупроводников различных типов [1]. Данный метод можно применять в различных технологических областях : микроэлектроника, микромеханика, для создания различного рода сенсоров и датчиков и т.д. Ширина осажденных структур не превышает 300 мкм, и линейно зависит от мощности лазера. Комбинируя различные металлы, осажденные с помощью данного метода, можно создать микротермопару, что является перспективным для прямого контроля температур в реакторах с малыми объемами. Одним из перспективных металлов для ЛОМР является молибден. Данная работа посвящена возможности лазерно-индуцированного осаждения молибдена из раствора на диэлектрические подложки ситалл СТ-50, стекло и порошкообразный диоксид титана, а так же изучению влияния подложки на результат лазерно-индуцированного осаждения молибдена из раствора. Кроме того в работе проведен анализ влияния рН и концентраций компонентов в растворе на результат осаждения. Лазерно-индуцированное осаждение металлов - один из перспективных методов металлизации различных подложек. Одним из типов данного метода является лазерно-индуцированное осаждение металлов из растворов (ЛОМР). Лазерно-индуцированное осаждение металла из раствора (LCLD) – это метод, основанный на протекающей в локальном объеме раствора в фокусе луча лазера химической реакции восстановления металла, приводящей к осаждению последнего на поверхности диэлектрической подложки. Метод лазерного осаждения металла из раствора электролита позволяет создавать качественные малоразмерные металлические структуры на поверхности диэлектриков и полупроводников различных типов [1]. Данный метод можно применять в различных технологических областях : микроэлектроника, микромеханика, для создания различного рода сенсоров и датчиков и т.д. Ширина осажденных структур не превышает 300 мкм, и линейно зависит от мощности лазера. Комбинируя различные металлы, осажденные с помощью данного метода, можно создать микротермопару, что является перспективным для прямого контроля температур в реакторах с малыми объемами. Одним из перспективных металлов для ЛОМР является молибден. Данная работа посвящена возможности лазерно-индуцированного осаждения молибдена из раствора на диэлектрические подложки ситалл СТ-50, стекло и порошкообразный диоксид титана, а так же изучению влияния подложки на результат лазерно-индуцированного осаждения молибдена из раствора. Кроме того в работе проведен анализ влияния рН и концентраций компонентов в растворе на результат осаждения.
- Добавил в систему: Кочемировский Владимир Алексеевич