Аннотация:Используя программный комплекс Jade:
1) Проведен фазовый анализ четырех покрытий на основе ZrN, полученных магнетронным напылением. Установлено, что все образцы имеют одинаковый фазовый состав: ZrN, Zr2N, ZrN0.28, но различные доли фаз.
2) Во всех образцах преобладают фазы ZrN и Zr2N;фаза ZrN0.28 имеет долю менее 10% .